第500章(1 / 2)

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  三家光刻机厂商的代表越听越是吃惊,从周硕所说的技术细节来看,中国人竟然真的已经彻底掌握了0.5微米光刻机的全部关键技术!可是这些技术的数据在公开渠道,是不可能搜集到的。何况是被严密封锁的中国大陆企业,除非真的吃透了这些技术的精髓,否则根本无法得到这些数据。

  “周桑,关于你的描述里有一点,能否请你解释一下。”竞标过程里,竞标对手间互相进行诘问也是保留项目了,白石茉莉奈当然不可能只做一个看客:“在透镜的介绍中,我发现你们只使用了二十三组。但是根据我们的计算,想要实现多次曝光,最少也需要二十五组镜头。能否解释一下,为何你们少用了两组?”

  周硕抬头看了看这个美艳的日本女人,面不改色的点了点头说道:“fh-500bj最初的设计中,确实是使用了二十五组镜头。但后来我们发现可以对第八组光刻镜头进行优化,只要把镜头的弧度根据夏尔谢夫公式进行重新设计,就能节省两组镜头的使用。”

  “夏尔谢夫公式?”白石茉莉奈愣了愣,奇怪的说道:“我怎么没有听说过这个公式?”

  当然没有什么夏尔谢夫公式,其实原因很简单,周硕前世工作的实验室里,就有一台尼康生产的0.5微米步进式光刻机。由于是二十一世纪的产品,为了节约生产成本尼康公司对其进行了优化设计。通过后来开发的先进技术,优化了镜片的设置。使得镜片数量从二十五组减少到了二十三组。

  而周硕在进行试验的时候,早就已经对这台光刻机的条件摸的烂熟。如今把这个技术点抛出来,当真是用尼康的技术,打了尼康一个措手不及。

  “哦,这是我们公司聘请的俄国工程师夏尔谢夫先生的成果。”周硕满嘴跑火车,心里笑道内伤道:“他是前苏联罗蒙诺索夫实验室的一名研究员……”

  第三百零五章 唱标

  周硕虽然是在满嘴跑火车,白石茉莉奈却真的相信了。真正高明的谎言不是逻辑有多么严丝合缝,而是能够和真实世界相互辉映。周硕这一番话虽然细想起来,其实漏洞很多。但好就好在,苏联的电子工业并非人们以为的那么薄弱。

  别看苏联的电子工业不行,但那是大规模生产有困难,纯粹的体制问题。但在实验室里,苏联早在90年就已经实现了0.5微米工艺。要说中国人趁着苏东坡的当,真的捡了个漏,似乎也不是说不过去。

  对世界上光刻机技术发展门儿清的白石茉莉奈不用周硕多说,自己就把这里面的情节脑补完整了。

  竞标就在这种你问我答的过程中继续了下去,从光刻机的整体设计思路,到重复曝光的对准系统分辨率。从产品的良品率,到日均产量……

  四家光刻机厂商,可以说是唇相舌战、短兵相接。在这种近距离的较量下,没有人会完全不犯错误。只要逮住一点穷追猛打,说不定对方头晕脑胀之下,就能爆出什么重大隐患之类的。所以根本没人会有手下留情,或者相逢一笑泯恩仇之类的想法。

  总体上来说,在工艺技术上阿斯麦绝对是第一位的。他的身后站着的是德国卡尔蔡司,镜头材料来自于美国康宁。技术上受到ibm和intel的扶持,美国应用材料公司也和他有不清不楚的关系,零部件很多都是从美国进口。这样的阵容下,当然是当之无愧的第一。

  当然。在二十世纪九十年代,光刻机对技术的要求还没有那么变态。尼康的光刻机水平比阿斯麦差距有限。毕竟尼康虽然家大业大,但一直都是自攻自受。从镜头加工到系统集成,能自己干的就全都自己做了。
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