重生千禧大玩家 第912节（6 / 7）
尹志尧一脸为难。
“什么坏消息？”
陆飞鼓励道：“没关系，说出来，不说出来，我们又怎么想办法解决呢？”
“陆总，asml研发出了全球第一台euv光刻机，已经送到三星的研究机构预生产。”
尹志尧无奈地叹了口气。
“你看你，又急。”
陆飞挑了挑眉，倍感意外，这么凑巧！
euv光刻机的出现，相当于光刻机技术和设备正式发展到第五代，遥遥领先于他们。
第一代光刻机是以436nm的g－line汞灯光源为主，只适用于5μm以上制程。
之后出现了365nm的i－line汞灯光源的第二代光刻机，制程精度来到了350到500nm。
这两代都只能算是接近式光刻机，到了第三代扫描投影式光刻机，才实现了跨越式的突破，把最小工艺推进至150到250nm。
他们生产的65nmarf干式光刻机，算是第四代，也就是步进式投影式光刻机，制程工艺最高可以推进到65nm，想要更上一层——
就得用到浸入技术，也就是让镜头和硅片之间的空间浸泡于液体之中，在此基础上，就有了四代半的浸入步进式投影式光刻机。
本来，逻辑跟asml这些国际一线的光刻机厂商，就只剩arfi这么个半代差距。
但euv光刻机一出现，又把这个差距拉到了至少1.5代，而且这个技术差距，不像制程工艺那么好追，是整个产业链的全面落后。
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“什么坏消息？”
陆飞鼓励道：“没关系，说出来，不说出来，我们又怎么想办法解决呢？”
“陆总，asml研发出了全球第一台euv光刻机，已经送到三星的研究机构预生产。”
尹志尧无奈地叹了口气。
“你看你，又急。”
陆飞挑了挑眉，倍感意外，这么凑巧！
euv光刻机的出现，相当于光刻机技术和设备正式发展到第五代，遥遥领先于他们。
第一代光刻机是以436nm的g－line汞灯光源为主，只适用于5μm以上制程。
之后出现了365nm的i－line汞灯光源的第二代光刻机，制程精度来到了350到500nm。
这两代都只能算是接近式光刻机，到了第三代扫描投影式光刻机，才实现了跨越式的突破，把最小工艺推进至150到250nm。
他们生产的65nmarf干式光刻机，算是第四代，也就是步进式投影式光刻机，制程工艺最高可以推进到65nm，想要更上一层——
就得用到浸入技术，也就是让镜头和硅片之间的空间浸泡于液体之中，在此基础上，就有了四代半的浸入步进式投影式光刻机。
本来，逻辑跟asml这些国际一线的光刻机厂商，就只剩arfi这么个半代差距。
但euv光刻机一出现，又把这个差距拉到了至少1.5代，而且这个技术差距，不像制程工艺那么好追，是整个产业链的全面落后。
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